測(cè)針是測(cè)量系統(tǒng)的組成部分,它與被測(cè)工件接觸,使測(cè)頭機(jī)構(gòu)產(chǎn)生位移。所產(chǎn)生的的信號(hào)處理得出測(cè)量結(jié)果。被測(cè)工件的外形特征將決定要采用的測(cè)針類(lèi)型和大小。在所有的情況下,測(cè)針的*大剛度和測(cè)球的球度都至關(guān)重要。
測(cè)球材料特性 |
|||||||||||
測(cè)針類(lèi)型 |
材料 |
等級(jí) |
球度 |
結(jié)構(gòu) |
成分 |
純度 |
密度 |
硬度 |
抗壓強(qiáng)度 |
彎曲強(qiáng)度 |
斷裂韌度 |
|
|
|
(μm) |
﹣ |
(wt%) |
(%) |
(g/cm3) |
HV |
(MPa) |
(MPa) |
(MN/M3/2) |
Al?O?紅寶石測(cè)球 |
人造紅寶石單晶體 |
5級(jí)* |
0.13 |
單晶 |
99%Al?O? |
99.90 |
3.90 |
1800 |
2100 |
390 |
1 |
氮化硅測(cè)球 |
硬質(zhì)模壓Si?N? |
5級(jí)* |
0.13 |
多晶 |
Si?N? |
90 |
3.0-3.2 |
1600 |
3000 |
1000 |
6 |
氧化鋯測(cè)球 |
燒結(jié)ZrO? |
5級(jí)* |
0.13 |
多晶 |
ZrO? |
90-95 |
6.05 |
1200 |
2000 |
700-1100 |
10 |
氧化鋁空心測(cè)球 |
陶瓷Al?O? |
﹣ |
1 |
多晶 |
Al?O? |
99.80 |
3.8-3.9 |
1570 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
銀質(zhì)鋼盤(pán)形測(cè)針 |
銀質(zhì)鋼 |
﹣ |
1 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
8 |
450 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
銀質(zhì)鋼簡(jiǎn)易柱形測(cè)針 |
銀質(zhì)鋼 |
﹣ |
圓度4μm |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
8 |
200 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
紅寶石柱形測(cè)針 |
人造紅寶石 |
測(cè)球5級(jí)* |
測(cè)球的球度:0.13 同心度:測(cè)球/柱形4μm |
單晶 |
99%Al?O? |
99.90 |
3.90 |
1800 |
2100 |
390 |
1 |
碳化鎢柱形測(cè)針 |
碳化鎢 |
﹣ |
+20μm端頭半徑 |
﹣ |
92-93.5%WC 6.5-8%CO |
14.8 |
14.95 |
1550 |
6000 |
﹣ |
﹣ |
銀質(zhì)鋼尖測(cè)針 |
銀質(zhì)鋼 |
﹣ |
錐角30° |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
8 |
300 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
碳化鎢測(cè)針 |
碳化鎢 |
﹣ |
錐角30° |
﹣ |
92-93.5%WC 6.5-8%CO |
99.90 |
15 |
1550 |
6000 |
﹣ |
﹣ |
氧化鋁空心測(cè)球 |
鋁合金6082-T6 |
﹣ |
30μm |
﹣ |
95.2-98.3%Al |
﹣ |
2.7 |
95 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
測(cè)桿材料特性 |
|||
材料 |
25℃時(shí)的膨脹系數(shù) |
|
|
不銹鋼 |
16x10??/℃ |
||
碳化鎢 |
5x10??/℃ |
||
陶瓷 |
8.1x10??/℃ |
||
碳纖維 |
-0.4x10??/℃ |
||
鈦 |
9.2x10??/℃ |
A 測(cè)球直徑 |
φ M2=3mm |
紅寶石 |
4.5x10??/℃ |
B 總長(zhǎng)度 |
φ M3=4mm |
氮化硅 |
3.2x10??/℃ |
C 測(cè)桿直徑 |
φ M4=7mm |
氧化鋯 |
10.5x10??/℃ |
D 有效工作長(zhǎng)度 |
φ M5=10mm |
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